長勝投資集團開過動員會之後，相關各單位就立刻行動起來。他們還是選擇長勝精工的實驗車間為研發基地，因為目前只有這裏，才有高精度的機加工能力，也只有這裏，才符合這些設備安放的條件。

郭東算是這裏的地主，於是他就自然而然的成為此次研發任務的領頭人。雖然他們已經成立了獨立的機械研究院，但他們還在這裏辦公，也可以稱得上是主人。

還是老規矩，研發之前先開會，郭東作為主人在橢圓形的會議桌檔頭，其他人就分列兩邊。這個位置平常是老板坐的，今天他能坐這個位置開會，郭東感到很興奮。“咳咳”他首先清了清嗓子，才用愉快的語氣說道：“各位領導，我們先做一下簡單的分工怎麽樣？”

“怎麽分工呢？”化學研究所的王波和他熟，因此他先開口問道。

“我是這樣想的，兩樣設備，我們分作兩組討論。根據所占的技術比重，我們每組選出一個領頭的。

首先，光刻機研制組。由我們、軟訊公司、電子研究所、光學研究所、化學研究所負責研制，這個設備我們所占比重最多，我就領頭，大家認為怎麽樣？”

盧汝成和洪濤兩人，本來以前就是他的部下，因此他們倆人都沒有反對。光學研究所和化學研究所，說實話在光刻機中所占的技術比重真不大，因此他們也沒有反對。

“同意”幾個人都表示讚同。

“那好，光刻機研究組就這麽定了，待會兒我們再開會具體的討論技術細節。至於離子註入機，則純粹是一個物理原理，我提議由物理研究所領導研制，大家認為怎麽樣？”

郭東又提出了離子註入機研制組的負責人人選，沒辦法，誰讓他坐在主席位呢？他不牽頭他肯定其他人都不會說。

這次就沒有人出言支持他了，但也沒有人反對。等了幾分鐘，郭東見沒有人發言，就接著說：“那就這樣吧！我們分開討論。你們放心，離子註入機研制組，我們也會派機械工程師參加的。”

說完他就站起來，然後對在坐的其它幾位負責人說道：“盧總、王所長、洪所長、胡所長我們到隔壁的辦公室去討論具體的技術細節吧！你們的位子讓你們的技術員填補。我們兩邊分開討論，互不幹擾。”

“郭院長有令，我一定堅決執行。”洪濤開了個小玩笑，然後他也站起來對坐在旁聽席的張東方說：“張東方，你來代替我坐這裏開會。”

“哈哈”在座的人都發出了善意的笑聲，手上也沒有閑著，其它幾位也找了人代替自己。只有郭東的手下例外，他沒有坐郭東的位子，而是坐到會議桌離主席位最遠的位子。他有自知之明，知道那個位子不是他坐的。

物理研究所的所長叫王衛紅，憑他的名字，一看就知道是60年代出生的人。他是後來沈丹青對研究所的改革，而競選成功的。說實話，他的資歷是在座的負責人當中是最低的。但他初生牛犢不怕虎，否則也不可能競選成功。他等郭東他們幾位走後，就轉到主席位坐定說道：“雖然我知道我資歷最淺，但事情總得有個挑頭的，大家又沒有反對，我就厚顏當這個組長了。”

“啪啪啪！”這時，會議桌上的人開始有人給他鼓掌了，都是剛剛代替的人，他們不是一個級別，因此沒有人覺得不妥，反而覺得他很有魄力。

離子註入機研制組的人雖然不太齊心，但總算是開了一個頭。另一邊的郭東幾人來到郭東他的辦公室後，郭東請他們落坐，然後親自為他們泡了茶。

“郭院長，客氣啦！客氣啦！還勞你親自泡茶。”王波接過郭東的茶，嘴上客氣道。

“這不是應該的嗎？難道我去你那裏你還不給我泡茶。”郭東也客氣的回應。

盧汝成和洪濤則大大咧咧，就像理所當然的一樣接過茶就喝，他們在一起共事幾年了，早就沒有了生疏感。只有光學研究所的胡所長比較拘謹，他也是新競選上來的，而其他幾位則是老板親自提拔的，因此他自認身份比他們低一頭。

“嗯！”郭東哼了一聲，就開始講話了：

“光刻機據我的了解，我們已經將前期的技術難點已經解決了，在別人看來很難的問題，我們就只要組裝了，唯一麻煩的是後期的實驗數據采集，但沒有難度了，只是要花時間。”

講到這裏，他就問盧汝成：“盧總，數控部分，你們能解決吧！”

“沒問題，這個數控系統比數控機床簡單多了，只有幾個直線動作和機械臂的輸送動作的協調，我們幾天就可以解決，只是數據采集要花點時間，我打算要學員們幹，讓他們歷練歷練。”盧汝成表示很簡單，他還打算只要學員們幹，當然他們得把關。

“那就好，你們沒問題，就真的沒問題了。我先和大夥說說我對光刻機的設想，據我所知，光刻機根據曝光方法的不同分為：接觸式、非接觸式和聚焦式三種。

接觸式是以前的老方法，缺點太大，我就不講了。聚焦式雖然更先進，但難度也最大，我們目前還沒有這個需要，可以做為以後的研究課題。為了趕時間，我打算這次就采取非接觸式，符合我們目前的制程工藝，最高精度可以達到二十納米以內，目前來講完全足夠了。相反，我們的芯片設計還沒趕上來，這次就只試制十六位元的芯片，精度只要達到U米級就夠了，洪所長你們扯後腿了啊！”

郭東又開了洪濤的玩笑，不過這卻是實情。洪濤也很無奈，芯片設計很覆雜，需要大量的熟練人手。跟老板說得一樣，要設計納米級芯片，至少得有幾千熟練電子工程師，否則想都不要想。

想到這些，洪濤接過話頭說道：“目前我們只能設計一些簡單的芯片，連32位元的芯片都要花大量時間才行，至少一年計，我們的熟練人手太少了，實在沒辦法。老板也知道我們是短板，因此我還被老板批過。唉！”

“好啦！既然老板已經批評了，我們就不批評你了。”郭東又小小的開了一記玩笑，然後正式說道：“非接觸式光刻的技術要點就是激光頭、掩模板還有基片要無限接近，最好只相差幾個納米，這樣才能保證最大的精度。這是屬於一種1:1投影技術或者說光刻技術，對掩模板的制作要求非常高，盧總，能不能將設計圖進行電子圖縮小？而不是光學縮小？”

“理論上是可以的，我們盡量想辦法，也就是說我們根本不搞紙質圖紙了，直接用電子圖紙投影曝光？”涉及到他的專業，盧汝成想也沒想就回答了。

這時洪濤也獲得了靈感，因此接過了話頭說道：“我打算采用液晶投影技術，液晶是一種分子級別的化合物，只要我們技術足夠，那麽控制精度可以無限小，我相信它能夠很好的解決1:1電子圖形縮小問題。我們就不走國外那套老路了，那樣太覆雜，而且精度不夠。”

“也只有你才知道國外是怎麽搞的，我們從來都是自己搞自己的，不也很好嗎？只要我們達到了目的就夠了。”

這時王波也插話說道，他對國外是怎麽搞的是真不懂，他的話沒有半句水份。

“洪所長這個主意很好，這樣電子圖形縮小就沒問題了。”盧汝成對洪濤的辦法不由拍案叫絕。

“這樣我們是不是可以取消掩模板呢？”

郭東提出了一個大膽的設想。

“當然不行，液不能代替掩模板，因為液晶屏是通過光的偏振原理，來實現圖像顯示的。它根本就不可能實現，高精度光刻，不過我們可以試一試，讓液晶屏代替光刻機，給掩模板顯影電子圖形，如果能夠做到，也是一種了不得的進步，能節省很多步驟。

不過我們必須研究出一種，對光非常敏感的光刻膠。在化學蝕刻的時候，又能有效的保護未被光照的鍍鉻層。”

“王所長，這點你們能解決吧！”洪濤先給郭東解釋了液晶原理，然後又問王波道。

“沒問題。自從研究光刻膠以來，我們已經研究出多種光刻膠了。都是分別針對不同的物質，給掩模板用的光刻膠，我們已經研究出來了。效果怎麽樣？要試試才知道。”王波給予了肯定的回答。

“那太好了，那我們就試試吧！”郭東激動的說道

由於這次用途的特殊原因，他們不需要覆雜的液晶技術，只需要第一代液晶技術，即TNLCD。就是簡單的黑白屏，白光就是電路圖，如果掩模板與液晶屏隔得足夠近的說，也可以留下滿意的電路圖形。

還有一點與普通的液晶屏不同，這裏的背景光源是強光源，他不是給人看的，而是專為掩模板曝光的。

當然缺點也很明顯，由於液晶分子的大小原因，精度不夠，因此不適合納米級芯片技術，這是他們後來經過實驗，才明白這個道理的。

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