郭東和他們幾人，到了實驗車間，郭東作為現場最不懂液晶技術的人，他就問其他幾人：“液晶是怎麽控制開關的，它又是怎麽顯示電路圖形的？”

“液晶是早在1888年由奧地利植物學家萊尼茲發現的一種在常溫下介於固態和液態之間的一種化合物質，由於當時並沒有這類物質的稱呼，因此他就取名液晶，就是液態固體的意思。

後來，直到1968年，美國RcA公司的沙諾夫研發中心的工程師，發現液晶受電壓的影響而改變其排列順序，他們利用這一現象而發明了第一塊液晶屏。

至於怎麽顯示圖形，則是把液晶置於平行的玻璃面板溝槽中，這樣的玻璃面板有兩塊，前後兩排溝槽是呈九十度垂直的，這樣就構成了一個個的單元格，也就是像素點。在兩排溝槽的中間，是呈網狀的透明電極。

我們把橫向排列的溝槽通電，那麽這條溝槽中的液晶它們就會沿溝槽有順序地排列，這時背景光源就可以通過它們。但是還有一層縱向排列的液晶它們沒通電，因此它們是呈混亂排列的，光線還是通不過。如果這時，我們給縱向排列的某一條溝槽通電，那麽縱向排列和橫向排列相交的一個點，這裏光線就可以真正通過了，許多個這樣的亮點就構成了圖形。

當然真正的液晶技術不會這麽簡單，但我們現在就只要這麽簡單的技術就可以了。覆雜了反而不好，會影響圖像精度。”說到液晶就是王波的菜，因此他小小的向郭東科普了一番。

“原來是這樣！這下我明白了。”郭東邊說邊點頭，好像已經完全明白了的樣子。

只要使用第一代液晶技術當然很簡單，況且他們需要的比第一代技術更簡單，因此沒有什麽難度。他們唯一要解決的是溝槽的精度，使像素點更細密。

不過相對於擁有納米級加工工藝技術的長勝精工來說，就太簡單了。因為溝槽再怎麽精密，也只有U米級，這是液晶化合物分子的大小所決定的。

當第一塊液晶屏試制出來，在了解了技術細節之後，郭東就感嘆說：“看來這項技術的缺點也很明顯，它只能達到U米級精度，我們算是白忙活了。”

“也不能這麽說，其實日常生活中，低級別的芯片用的是最多的，比如普通的小家電所用的芯片以及普通的工控芯片。我們能減少低級別芯片的工序也是了不得的進步。”這時，權威專家洪濤就站出來給大家打氣了。

“唉！好吧！我們先試試吧！還不知道能不能代替激光刻蝕呢？”郭東又發感慨了，真是一個多愁善感的人。

要試很簡單，因為不是矽晶圓因此無須無氧環境，只要一間暗室就可以了。暗室也不是真的暗，黃光還是可以的。

他們實驗了一下，情況還好，只要掩模板與液晶屏隔得足夠近，大概幾納米的樣子，光的漫散現象還是不嚴重。也就是說用液晶屏代替激光蝕刻掩模板獲得了成功，雖然只能用在低制程芯片技術上，但是因為圖形轉移快捷，可以說是非常有用的一項技術了。

接下來就是真正研制光刻機了。由於一些技術難點郭東他們還是長勝精工技術部的時候就早已解決了，因此他們直接進入了設計環節。

為了最大程度的提高效率和減少氬氣用量，郭東要技術員將工作臺裏面的活動機構的最大行程設置為5毫米。也就是說從最上面的激光到最下面的基片面只有5毫米，這個5毫米中間還有一個有缺口的托架，托架是放掩模板的平臺，它只能上下移動。而那個缺口就是為微型機械臂輸送掩模板用的。

掩模板至少得有一毫米厚，托架也至少得有二毫米厚，加上微型機械臂占去了一點點厚度，也就是說在輸送掩模板的過程中，與上面的激光頭和下面的基片上下相差不到一毫米了，玩的就是這麽精密。

當然矽晶圓基片，它是最後才放進來的，而且微型機械臂是從下面輸送進來的，不占用這5毫米的工作空間。

矽晶圓基片臺是真正的固定，它不需要移動。唯一能上下左右移動的就是激光頭。激光頭不止一個，而是一排。就像刷卡一樣，它只要刷一次就夠了。

看起來很簡單，其實他最難的是怎麽控制掩模板與基片之間只相差幾納米，激光頭與掩模板之間只相差幾納米。就是這一個難點就難住了許公司，這需要納米級加工工藝才能做到。而恰好長勝投資集團就能做到，道理就是這麽簡單。

掩模板不止一塊，而是有許多塊。因此他有另外一套安置機構，就像機床的刀具換刀系統一樣。為了最大限度地節省空間，它是平行環繞在工作臺的周圍的，它能環繞轉圈，能根據電腦的指令，將下塊需要的掩模板輸送到微型機械臂的面前。原理和機床的數控換刀系統是差不多的。

為什麽要把工作臺設置的這麽薄呢？就是為了減少上下移動所花費的時間，還有也減少了運動勢能，這就相應的增加了上下移動的控制精度。

到了這時，如果僅僅從光刻機的角度看，長勝投資集團的芯片制程工藝已經超過了2017年的世界水平。郭東他們設計的光刻機甚至能達到10納米以內的制程工藝，當然激光頭還需改進成為聚焦式激光頭。但是從純機械的角度看，他們是真的達到了。

不過芯片制程是一個系統的工程，不是簡單的機械精度就夠了，其實最制約制程工藝的是化學蝕刻環節。在以後的章節中我會祥細講解。

在以往的工業文中，有作者提到浸潤式激光技術，能翻倍提高蝕刻精度。那是因為當時所處的時代，激光精度低所導致的，長勝投資集團所用的極深紫外光是2016年才研發的技術，激光精度一下子提高了幾十倍，遠遠不是什麽浸潤式激光頭技術所能比擬的。

光刻機研制成功了，郭東他們進行了多次實驗，發現蝕刻精度非常高，已經完全達到或超過了要求。洪濤甚至直言自家的技術已經遠遠超過了美國，他能這麽說，是有道理的。

他是留美電子工程博士，他在美國見過光刻機實物。也知道他們的芯片制程工藝級別。雖然已經過了好多年，但他根據摩爾定律推測，自家的技術也遠遠超過了美國幾個量級。

郭東他們第一時間將這個好消息報告給了沈丹青，沈丹青馬上就來到了長勝精工。他在現場認真聽取了郭東他們的講解，不住的滿意的點頭，就像小雞啄米一樣的勤快，完全沒有意識到這樣會不會傷脖子。

他太高興了，光刻機直到2017年都是中國的一塊短板，如今他們公司已經研制出來了，可以說已經為中國補上了短板，他能不高興嗎？這可不是錢所能做到的。他想象未來中國每年幾千億美元的芯片進口額度沒有了，那中國又是怎樣的一個情況呢？畫面太美，以致於他不敢再想象了。

他收攏心思、穩定了情緒就又問郭東道：“離子註入機研制得怎麽樣了？”

“對不起！老板，我不知道？”郭東被問得啞口無言，他的心思全用在研制光刻機上了，哪裏知道另外一組的情況。

幸好這時盧汝成趕忙來補救，他急忙向老板說道：“老板，我們分組了，我們一門心思都在研制光刻機上了，一有了結果就馬上報告給你了。因此還不知道另外一組的情況。請您恕罪。”

聽到盧汝成的解說，沈丹青的臉色立刻多雲轉晴了，於是他微笑地對他們說：“是這樣就怪不得你們了，兩耳不聞窗外事，這是所有科研人員的通病嘛！哈哈哈哈！好啦！你們這邊解決了，我們去看看另外一組的情況吧！”

可是他的好心情沒有持續多久，到了另外一組一了解，他們居然還在理論研究階段，令他幾乎是咆哮似的發怒了：“你們是怎麽搞的？另外一組的光刻機已經研制成功了，甚至還附帶研發了液晶屏蝕刻技術，你們居然還沒有開始實驗！辦事太拖沓了。看來你們是沒有一個好頭，都各自為政，只顧得扯皮了。這樣吧！由於離子註入機的實際情況，物理研究所所占的比重最大，我現在就明確規定，物理研究所的王所長為這次研制任務的負責人。還是采取事業部制度，王所長為事業部部長，在整個集團內，他有權調動任何人和材料。任何人不得反對和阻擾，否則我會重處。”

然後他又用嚴厲的語氣對王衛紅說：“王所長，我已給你最大的權利了，我只要你趕快給我結果，你能做到嗎？”

王衛紅以及在場的除了光刻機研制組的人早就給老板的怒氣給嚇住了，老板又如此嚴厲的問他，他只能哆哆嗦嗦地回答道：“能……我能……老板，我一定能。”

最後一句，它既是給老板的回答又是給自己壯膽。老板的氣場太強大了，他一個沒有什麽資歷的新任所長，有點扛不住啊！

……

------------

本站無廣告，永久域名（danmei.twking.cc）